微电子与半导体废水处理 - 纳诺斯通陶瓷膜
应用
微电子 / 半导体废水处理
用于微电子 / 半导体废水处理的先进陶瓷膜过滤
半导体晶圆厂正因其对环境的影响而受到日益严格的审查，尤其是在芯片设计创新需求日益加剧的背景下。
随着半导体技术的不断进步以及芯片特征尺寸的缩小，需要更多的加工步骤或“掩膜层”。每增加一层掩膜层都会增加用水需求。从水的角度来看，这大大增加了对环境的影响。
晶圆厂通常位于与市政机构争夺淡水的区域，经常使用经过进一步处理达到超纯水（UPW）标准的自来水。这种不断上升的需求对现有淡水供应构成了巨大压力，并可能在行业迅速扩张以满足不断增长的产品需求时危及运营。因此，有效且高效的废水回用处理的重要性不断上升，以确保可持续的水务管理并支持行业的增长与创新。
半导体废水含有高浓度的固体和磨蚀性颗粒，给处理带来了重大挑战：
- 研磨和切割废水：含有可能损坏传统膜组件的磨蚀性颗粒。
- 化学机械抛光（CMP）废水：含有细小颗粒，需在过滤前进行混凝和pH值调节。
- 氢氟酸（HF）废水回用：需要强效处理以实现回用并减少环境影响。
我们的技术通过为这些废水流提供有效的预处理来应对上述挑战，确保符合严格的环境法规，并支持水回用计划。纳诺斯通 CM-151 陶瓷超滤（UF）膜系统具有占地面积小、耐磨性高、高效反洗能力和高进水固体含量等特性，使其成为处理半导体工厂中各种废水的理想选择。
为什么选择纳诺斯通陶瓷超滤膜处理微电子/半导体废水
方法与效益
我们的陶瓷超滤膜利用先进的过滤技术直接应对高浊度和磨蚀性颗粒，从而提高处理效率。该系统设计旨在简化运行并满足严格的环境法规，不仅优化了水质，还支持可持续的回用计划.
- 纳诺斯通的解决方案:
- 研磨和切割废水：使用陶瓷超滤膜进行直接过滤，无需预处理。
- CMP 废水：先进行絮凝和 pH 调节，然后用 陶瓷超滤膜进行过滤.
- 独特功能:
- 简化处理：简化了处理工艺，降低了水处理系统的复杂性和运营成本.
- 耐受高进水浊度：可处理浊度高达 10,000 NTU 的进水。
- 抗磨蚀颗粒：确保膜的耐用性和可靠性。
- 纳诺斯通的解决方案提供了多项收益:
- 改善水质：确保出水质量高，适合回用。
- 提高效率：简化了处理工艺，减少了运营停机时间和维护需求。
- 占地减少：紧凑的设计适用于空间受限的设施。
- 成本效益：降低运营和投资费用。
- 符合监管要求：帮助设施满足严格的环境法规，并实现高于 90% 的水回用率。
成功案例
纳诺斯通在微电子
及半导体废水处理中的影响
北美半导体制造商案例研究
- 面临的挑战概述:
该设施需要升级其氢氟酸（HF）废水处理系统，以应对合规问题并实现回用. - 纳诺斯通解决方案:
实施了陶瓷超滤膜系统，实现了废水回用，并减少了对新鲜水的需求。 - 取得的效益:
- 通过降低处理成本、排放费用和淡水采购，每年节省$800,000。
- 实现了 95% 的回收率，运营可靠且维护需求极低。
- 提高了系统稳定性，并符合环境法规要求。
欲了解更多详情，请访问北美半导体制造商项目页面。
亚洲先进大规模集成组装与测试工厂案例研究
- 面临的挑战概述:该工厂由于有机超滤膜污染导致处理能力下降和成本上升。
- 纳诺斯通解决方案:用陶瓷超滤膜替换了有机超滤系统，提高了处理能力和运营稳定性。
- 取得的效益:
- 消除了对第三方废水处理的需求。
- 实现了超过 95% 的回收率.
- 降低了维护需求，并将 CIP周期延长至三个月以上。
- 膜的寿命/耐用性.
Sandisk SH 案例研究
- 面临的挑战概述:该工厂需要一种改进的处理方法来处理高浊度的混合废水。
- 纳诺斯通解决方案:用陶瓷超滤膜替换了传统处理系统。
- 取得的效益:
- 获得了适合 RO 处理的稳定水质。
- 降低了运营成本和占地面积。
- 水回收率从 60% 提高至80%以上。
常见问题
关于我们的微电子 / 半导体应用
纳诺斯通如何支持微电子和半导体行业？
纳诺斯通如何支持微电子和半导体行业？
纳诺斯通水务通过先进的陶瓷膜技术支持半导体行业，有效处理高固体含量的废水并促进水的回用。其紧凑且牢固的系统能够处理研磨和CMP等工艺的废水，确保提供适用于超纯水的高质量出水，同时减少预处理步骤和占地需求。这项技术提升了水的可持续性，降低了成本，并帮助设施满足严格的环境法规。
纳诺斯通的陶瓷超滤膜能去除半导体废水中的哪些污染物？
纳诺斯通的陶瓷超滤膜能去除半导体废水中的哪些污染物？
纳诺斯通水务的技术能有效去除半导体废水中的各种污染物，包括来自研磨和切割工艺的磨蚀性颗粒、来自化学机械抛光（CMP）废水的细微颗粒以及其它难处理的污染物。这些陶瓷膜专为处理高浊度和磨蚀性固体而设计，确保出水质量稳定，适合在超纯水系统中作为回用工艺。即使在苛刻的废水环境中，该系统也能长期提供可靠的性能。
优势应用
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创新的陶瓷膜解决方案 提供更清洁、更可持续的水
纳诺斯通的陶瓷膜通过优化预处理工艺提升了 反渗透（RO）系统的性能。它们能高效去除悬浮固体和污染物，确保更优质的出水并降低污染风险。这些膜非常适用于市政和工业应用，可提高水处理的效率、可持续性和成本效益。